製品センター
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プローブステーション
多重倍率光学表示システム
12インチ、8インチ、6インチ、4インチのウェーハテストおよび破片テストに対応
内部空気サスペンションシステム、効果的に外部の振動を遮断
統合制御システム、迅速な計測機器へのアクセス
ソフトウェアの自動テスト、機械精度の精密な校正
X-Y軸移動速度：70mm/秒、繰り返し位置決め精度：≦±1μm
Z軸移動速度：20mm/秒、Z軸繰り返し位置決め精度：≤±μm
R軸の精度0.0001°、繰り返し定位精度：≦±1μm
温度範囲：8K～300K
極限真空は5 × 10⁻⁶(Torr)以下です。
6本のプローブアームをサポートし、直流に対応。漏れ電流の精度は100fA以下です。
RFテストをサポートし、周波数範囲はDC～110GHzです。
光学テストに対応、波長範囲：190nm～2200nm
ホール測定と磁気輸送測定
磁石の種類：超伝導磁石
CINDBEST CH型プローブステーションは、機能が充実しており、高い互換性を備えたプローブステーションです。
さまざまなサンプルの試験に対応可能で、特に8インチウェハーや12インチウェハーなど、大型サイズのサンプルにも適しています。
直流試験や高周波試験など、さまざまな用途のテストにも対応可能です。
CINDBEST CH-8-D 両面ポイント針プローブステーションは、ウェハおよびPCB基板のテストに使用でき、正面と背面両方から同時に針を刺すことで、さまざまな光/電気特性テストのニーズに対応するテスト装置として活用されます。
このカスタムプローブステーションは、優れた機械システム、安定した構造、人間工学に基づく設計、および複数のアップグレード機能を備えています。
CMシリーズのプローブステーションは、小型に設計され、測定精度が高く、操作が簡単で、人間工学にも適しています。
主にI-V/C-V PIVテスト、半導体業界および光電業界のテストに応用されています。
複雑で高速なデバイスの精密な電気測定に関する研究開発に広く応用されています。
CSシリーズのプローブステーションは、小型に設計され、測定精度が高く、操作が簡単なうえ、人間工学にも適しています。
主に半導体産業および光電子産業のテストに応用されています。
複雑で高速なデバイスの精密な電気測定に関する研究開発に広く応用されています。