EMMI 光子微漏電分析プローブステーション
EMMI光子マイクロ漏電位置分析システム装置は、集積回路の故障解析において重要な分析ツールであり、漏電位置特定は故障解析者にとって必須の道具です。
所属分类：
EMMIテストシステム
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EMMI光子マイクロ漏電定位分析システム装置は、集積回路の故障解析において重要な分析ツールであり、漏電の位置特定は故障解析者にとって必須の道具です。チップが動作中、微小な漏電現象は比較的普遍的に見られますが、微弱な漏電は極端な状況下でしばしば無限に増幅し、結果としてチップやさらには制御システム全体の機能停止を招くことがあります。そのため、チップの微小漏電現象は、集積回路の故障解析において極めて重要な要素となっています。
当社は、ワイドバンドギャップ半導体（GaNやSiCなど）デバイスの故障解析向けに、400nm～1000nmの応答波長を持つEMMIテストシステムを導入しました。このシステムにより、GaN HEMT、GaN LED、SiC PD、SiC p-n接合、Si基MOSFET、ICなどのチップにおいて、マイクロアンペア級のリーク電流位置を高精度で特定可能となります。また、1μm未満の空間分解能を備え、極めて微弱な光のイメージングも行えます。
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- 最高の量子効率：82%@560 nm
- 有効解像度：2048×2048
- 有効面積：13.312mm × 13.312mm
- 冷凍温度：10℃
- ダーク電流：0.6 エレクトロン/画素/秒
- 波長範囲：400nm～1100nm
- 波長範囲：400nm-1100 nm
- インターフェース：USB 3.0