CM-4 簡易プローブステーション
CMシリーズのプローブステーションは、小型に設計され、測定精度が高く、操作が簡単で、人間工学にも適しています。
主にI-V/C-V PIVテスト、半導体業界および光電業界のテストに応用されています。
複雑で高速なデバイスの精密な電気測定に関する研究開発に広く応用されています。
CMシリーズ簡易プローブステーション
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用途
- 主にI-V/C-V PIVテスト、半導体業界および光電気業界のテストに応用されます。
- 複雑で高速なデバイスの精密電気測定に関する研究開発への幅広い応用
人間工学とオプション装備
- 調整可能な針座プラットフォームは素早く昇降可能で、サンプルとプローブの迅速な分離を容易にします。
- チャックを回転させてロックする
- 針座プラットフォームは、直流/RF定位器に対応しています。
- さまざまなチャックオプション、マイクロポジショナー、顕微鏡、カメラ、PCB ホルダーなど、多様な構成をご用意しています。
- オプションの機器ラック、防振台、暗箱など
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技術仕様
台座 CM-4
サンプル台が回転する
360度回転可能、15度の微調整可能、精度0.1度、角度ロック機能付き
サンプルの固定方法
真空吸着、中央吸引孔、多層吸着リング
X-Y移動ストローク
X-Yの移動精度
針座プラットフォーム
左右にそれぞれ1つの針座プラットフォームがあり、最大で小型のプローブ台を6つ配置できます。
バック電極テスト
サンプル台は電気的に独立して浮かせており、4mmジャックにバック電極を接続可能（オプション）。
10um
顕微鏡
顕微鏡の固定方法
支柱回転式
顕微鏡の種類
単眼顕微鏡
体視顕微鏡
倍率を拡大する
0.75倍～5倍ズーム
光源
同軸光源
外部設置型LEDリング光源
200万画素（2000万画素へアップグレード可能）
16X-100X
X-Y-Z移動ストローク
移動精度
吸着方式
磁力吸着／真空吸着
プローブ治具
同軸ケーブル／三軸ケーブル／RFケーブル
漏電精度
固定プローブ
スプリング固定／チューブ固定／ツメ式固定
10um/2um/0.7um/0.5um
BNC/3軸/バナナ端子/クロコダイルクリップ/配線端子/RFインターフェース
DCニードル先の直径
RFプローブ周波数
素材
タングステン鋼／ベリリウム銅／ニッケルめっき
外形寸法
10pA/100fA/10fA
重量
約18キログラム
オプションの付属品
加熱台
金メッキカセット
耐震テーブル
lum/2um/5um/10um/20um/50um/100um
お客様のご要望に応じたカスタマイズ
40GHz/50GHz/67GHz/110GHz
素材
タングステン鋼／ベリリウム銅／ニッケルメッキ
外形寸法
400W × 370D × 490H
重量
約18キログラム
オプションの付属品
加熱台
金メッキカセット
耐震テーブル
シールドボックス
お客様のご要望に応じたカスタマイズ