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√ 統合テスト
FS-Pro™は、直流テスト、パルステスト、過渡テスト、静電容量テスト、および低周波ノイズ（1/fノイズ）テストを単一の計測器に統合し、ケーブル交換やプローブの再配置なしで、すべての低周波パラメータ特性評価を完了できます。
√ 超高速
FS-Pro™は、AI駆動のテスト技術を導入し、従来の半導体パラメータテストシステムに比べて最大10倍の高速テストを実現。強力なスピード向上とともに、依然として高いテスト精度を維持しています。
√ モジュール型アーキテクチャ
FS-Pro™はモジュール型アーキテクチャを採用し、コンパクトな本体を維持しながらも、必要に応じて拡張可能で、最大20チャンネルまでのマルチチャンネル並列テストをサポート。高密度生産テストにもスムーズに対応します。
√ 操作が簡単
内蔵の測定制御ソフトウェアLabExpress™は、直感的なユーザーGUIを備えており、マウスを数回クリックするだけで強力な試験解析機能を実行できます。また、さまざまなプローブステーションやマトリックススイッチなどの機器をサポートし、ウェハレベルでのデータの自動テストタスクを簡単に完了可能。さらに、半導体製造向けに包括的なソリューションを提供しています。
√ 特色ある1/fノイズテスト能力
特に先進プロセスデバイス、二次元材料デバイス、光電検出器の試験用途において、1/fノイズはデバイス固有の重要なパラメータの一つであり、その性能がデバイスの実用能力を制約しています。1/fノイズは、さまざまな構成要素や構造を持つ半導体デバイスに広く存在するとともに、材料やデバイスの多くの潜在的な欠陥を敏感に反映します。そのため、1/fノイズの測定と解析は、半導体デバイスの品質評価や信頼性評価を行う新たな手段となっています。
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主要コンポーネントの性能指標
FS380高精度ソース測定ユニットSMU
● 直流テスト
±200V/1A の測定範囲、最大出力電力200W、最小測定精度電流30fA、電圧測定精度30μV、4象限動作
±200V/3A の測定範囲、最大出力480W、最小電流測定精度5pA、最小電圧測定精度30μV、最小パルス幅50μs
任意波形出力、最大サンプリングレート1.8MS/s、最小時間ステップ10μs
● コンデンサー試験（CV）
±200V/1A の測定範囲、10Hz～10kHz の帯域幅、20fF～1mF の測定レンジ
帯域幅0.1Hz～100kHz、バックグラウンドノイズ1×10⁻²⁸A²/Hz、200Vバイアス、テスト速度は8秒/バイアス；
FS336 外付けLCRモジュール
● ±40Vレンジ、40Hz～8MHz帯域幅
● 100fF～10mFの測定範囲
LabExpress™ 測定ソフトウェアは、直流、パルス、過渡、静電容量およびノイズの全機能を提供し、一般的なMOSFET、BJT、ダイオード、抵抗、コンデンサのデバイスタイプライブラリを内蔵しています。豊富で網羅的なテストタイプにより、デバイスに関する知識のない初心者でも簡単に使いこなせます。さらに、半導体ウエハ工場の日常的な用途に最適な包括的なソリューションも提供しています。また、テストデータの分析機能においてもLabExpress™は引けを取らず、豊富なカーブ変換やグラフ作成機能、よく使用される代数演算操作が搭載されており、即座の結果分析をよりシンプルにします。
業界での利用状況
産業分野において、FS-Pro™ はすでに複数の世界をリードする設計会社や半導体ファウンドリ、IDM企業、設計会社によって採用されており、その精度、速度、信頼性は厳しい工業認証をクリアしています。また、研究分野では、数十の大学および研究機関で活用され、これまでに数多くの高水準な学術論文の発表を支えてきました。低周波ノイズは、非破壊的な実験手法として効果的であることが広く認められており、FS-Pro™ は、ノイズテスト機能を統合した唯一の半導体パラメータ分析装置として、先端的な新素材・新デバイスの研究開発においてますます不可欠となっています。
● 100fF～10mFの測定範囲
Labexpress グラフィカルテストソフトウェア
LabExpress™ 測定ソフトウェアは、直流、パルス、過渡、静電容量およびノイズの全機能を提供し、一般的なMOSFET、BJT、ダイオード、抵抗、コンデンサのデバイスタイプライブラリを内蔵。豊富で網羅的なテストタイプにより、デバイスに関する知識のない初心者でも簡単に使いこなせます。さらに、半導体ウエハ工場の日常的な用途に最適な包括的なソリューションも提供しています。また、テストデータの分析機能においてもLabExpress™は引けを取らず、豊富なカーブ変換やグラフ作成機能、よく使用される代数演算操作が搭載されており、即座の結果分析をよりシンプルにします。
業界での利用状況
産業分野において、FS-Pro™ はすでに複数の世界をリードする設計会社や半導体ファウンドリ、IDM企業、設計会社によって採用されており、その精度、速度、信頼性は厳しい工業認証をクリアしています。また、研究分野では、数十の大学および研究機関で活用され、これまでに数多くの高水準な学術論文の発表を支えてきました。低周波ノイズは、非破壊的な実験手法として効果的であることが広く認められており、FS-Pro™ は、ノイズテスト機能を統合した唯一の半導体パラメータ分析装置として、先端的な新素材・新デバイスの研究開発においてますます不可欠となっています。