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製品センター

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CPシリーズ半自動プローブステーション


CP300 半自動プローブステーション

多重倍率光学表示システム

12インチ、8インチ、6インチ、4インチのウェーハテストおよび破片テストに対応

内部空気サスペンションシステム、効果的に外部の振動を遮断

統合制御システム、迅速な計測機器へのアクセス

ソフトウェアの自動テスト、機械精度の精密な校正

X-Y軸移動速度:70mm/秒、繰り返し位置決め精度:≦±1μm

Z軸移動速度:20mm/秒、Z軸繰り返し位置決め精度:≤±μm

R軸の精度0.0001°、繰り返し定位精度:≦±1μm

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