製品センター
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CPシリーズ半自動プローブステーション
多重倍率光学表示システム
12インチ、8インチ、6インチ、4インチのウェーハテストおよび破片テストに対応
内部空気サスペンションシステム、効果的に外部の振動を遮断
統合制御システム、迅速な計測機器へのアクセス
ソフトウェアの自動テスト、機械精度の精密な校正
X-Y軸移動速度:70mm/秒、繰り返し位置決め精度:≦±1μm
Z軸移動速度:20mm/秒、Z軸繰り返し位置決め精度:≤±μm
R軸の精度0.0001°、繰り返し定位精度:≦±1μm