フルオートマチックプローブステーション
深圳市森東宝科技有限公司が提供する全自動ウェハープローブステーションシリーズは、4～12インチのウェハー試験に対応し、高温・低温、高電圧、低漏れ電流など、さまざまな試験環境の設定が可能です。本装置はシンプルで使いやすく、性能が安定しており、高い精度、高い効率、低振動、低ノイズなどの特長を備えています。
所属分类：
フルオートマチックプローブステーション
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機能と利点
さまざまなチップ上のアプリケーション専用に設計されています。
- 精度は最大±1ミクロンまで可能で、フルクローズドループ運転制御システムを採用し、高精度かつ高効率、高い耐障害性を備えた位置決め動作を実現します。
- IndexTimeは最小で240ミリ秒まで可能であり、大理石製のベースと高剛性構造により、高負荷、低振動、迅速な整定動作を実現します。
- 最大リフティング力750kgf、Z軸4隅一体型サポートにより、高負荷または偏荷重条件下でも変形を最小限に抑えます。
- テスト温度範囲は-40℃から200℃までで、独自開発の各種チャックを提供し、核心的なプロセス課題を解決。高精度な温度制御を実現します。
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C300 H300 T300 M300 適用場面 汎用機種 汎用機種 三温に適しています ストレージに適しています 適用ウェハサイズ 適用ウェハ厚さ 総合精度 XY軸：±1μm XY軸：±1μm XY軸：±1μm XY軸：±1μm ZF軸：±2μm 針による圧力測定
テスト温度針による圧力測定
テスト温度針による圧力測定
テスト温度針による圧力測定
テスト温度常温 240ms 240ms 240ms 240ms 常温～150℃ 常温～150℃ 常温～150℃ 常温～150℃ テスト機の接続方法 テスト機の接続方法 テスト機の接続方法 テスト機の接続方法 自動レベリング 250kgf 250kgf 250kgf 250kgf 直接ドッキング 通信インターフェース 機器のサイズ 1680mm（幅）×1890m、1680mm（幅）×1890mm、1680mm（幅）×2080m、2000mm（幅）×1890mm 機器のサイズ m(D) × 1490mm（高さ） 90mm（高さ） 90mm（高さ） 機器の重量 機器の重量 電力要件
圧縮空気の気圧真空圧 ※ベルヌーイフィンガーをサポートし、薄片の要件を満たします
※温度カスタマイズ対応 -60℃ ※※ベルヌーイフィンガーをサポートし、薄片の要件を満たします
自動カード交換（APC）をサポート ※FFUの追加設置に対応し、高い清浄度要件を満たします第3.5世代向け 1300mm（幅）×1542m 1300mm（幅）×15421300mm（幅）×1740m 1300mm（幅）×1740 1300mm（幅）×1542m 1300mm（幅）×15421300mm（幅）×1740m 1300mm（幅）×1740 1300mm（幅）×1542m 1300mm（幅）×15421300mm（幅）×1740m 1300mm（幅）×1740 1300mm（幅）×1542m 1300mm（幅）×15421300mm（幅）×1740m 1300mm（幅）×1740 m(D) × 960mm（高さ） ※温度カスタマイズ対応 -60℃ ※自動カード交換（APC）をサポート ※FFUの追加設置に対応、満 ※自動カード交換（APC）をサポート ※FFUの追加設置に対応、満 足高クリーン度要件 機器の重量 2000kg 2000kg 2000kg 2200kg 電力要件 220VAC 1.0KVA 220VAC2.0KVA 220VAC5.7KVA 220VAC2.0KVA 圧縮空気の気圧 ≥0.6MPa ≥0.6MPa ≥0.6MPa ≥0.6MPa 真空圧 ≤-60 kPa ≤-60 kPa ≤-60 kPa ≤-60 kPa ※ベルヌーイフィンガーをサポートし、薄片の要件を満たします ※温度カスタマイズ対応 -60℃ ※ 自動カード交換(APC)をサポート ※FFUの追加設置に対応し、高い清浄度要件を満たします C200 H200 T200 T200HV 適用場面 汎用機種 汎用機種 三温に適しています 第3.5世代向け 適用ウェハサイズ 8インチ / 6インチ / 5インチ / 4インチ 総合精度 XY軸：±1μm XY軸：±1μm XY軸：±1μm XY軸：±1μm ZF軸：±2μm 針による圧力測定
テスト温度針による圧力測定
テスト温度針による圧力測定
テスト温度針による圧力測定
テスト温度常温 250ms(X/Y:10mm、
テスト機の接続方法250ms(X/Y:10mm, Z
テスト機の接続方法50ms(X/Y:10mm, Z
0.5mm)50ms(XY:10mm,
テスト機の接続方法自動レベリング 150kgf 150kgf 150kgf 150kgf 直接ドッキング 通信インターフェース 機器のサイズ 1680mm（幅）×1890m、1680mm（幅）×1890mm、1680mm（幅）×2080m、2000mm（幅）×1890mm -40～150℃ m(D) × 1490mm（高さ） ケーブル、ハードドッキング ケーブル、ハードドッキング ケーブル、ハードドッキング ケーブル、ハードドッキング 第3.5世代向け 1300mm（幅）×1542m 1300mm（幅）×15421300mm（幅）×1740m 1300mm（幅）×1740 GPIB、RS232 1300mm（幅）×1542m 1300mm（幅）×15421300mm（幅）×1740m 1300mm（幅）×1740 1300mm（幅）×1542m 1300mm（幅）×15421300mm（幅）×1740m 1300mm（幅）×1740 m(D) × 960mm（高さ） 1300mm（幅）×1542m 1300mm（幅）×15421300mm（幅）×1740m 1300mm（幅）×1740 m(D) × 960mm(高さ) mm（D）×960mm（H） m(D) × 960mm(高さ) mm（D）×960mm（H） 機器の重量 1200kg 1200kg 1200kg 1200kg 電力要件 220VAC 1.0KVA 220VAC2.0KVA 220VAC 5.7kVA 220VAC5.7KVA 圧縮空気の気圧 ≥0.6MPa ≥0.6MPa ≥0.6MPa ≥0.6MPa 真空圧 ≤-60 kPa ≤-60 kPa ≤-60 kPa ≤-60 kPa ※ベルヌーイフィンガーをサポートし、薄片の要件を満たします ※温度カスタマイズ対応 -60℃ ※自動カード交換(APC)をサポート ※FFUの追加設置に対応、満 足高クリーン度要件
全自动晶圆探针台