CL-6 中級プローブステーション
CINDBEST 高出力デバイス特性評価システムは、ウェーハ上の高出力デバイステスト専用に設計されています。
CINDBEST CL-6およびCH-8プローブステーションシステムは、150 mmおよび200 mmウェハ向けの完全なソリューションを提供します。
それらは、広い温度範囲でパワー半導体の低接触抵抗測定を実現するように設計されています。
CLシリーズ中間プローブステーション
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用途
- 光電分野のテストアプリケーションが可能で、LED/LD/PDの光強度／波長テストを実施できます。
- RFテストを実施可能で、東・西方向用の針座を追加装着可能です。大学の研究室に広く適しています。
人間工学とオプション装備
- 調整可能な針座プラットフォームは、素早く昇降可能で、サンプルとプローブの迅速な分離を容易にします。
- チャックを回転させてロックする
- 針座プラットフォームは、直流/RF定位器（磁気または真空設置型）に対応しています。
- さまざまなチャックオプション、マイクロポジショナー、顕微鏡、カメラ、PCB ホルダーなど、多彩な仕様をご用意しています。
- オプションの機器ラック、防振台、暗箱など
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技術仕様
台座 CL-6
サンプル台の引き出し
素早く引き出す
サンプル台が回転する
360度回転可能、15度の微調整可能、精度0.1度、角度ロック機能付き
サンプルの固定方法
真空吸着、中央吸引孔、多層吸着リング
サンプル台のZ軸昇降
昇降可能8mm
X-Y移動ストローク
X-Yの移動精度
針座プラットフォーム
針座プラットフォームの迅速な昇降ストロークは5mmで、ロック装置付きです。
バック電極テスト
サンプル台は電気的に独立して浮かせており、4mmジャックにバック電極を接続可能（オプション）。
5um
顕微鏡
顕微鏡の固定方法
X-Y微調整付きのガントリークレーン、移動範囲2インチ×2インチ
顕微鏡の使いやすさ
高速チルト装置を搭載し、対物レンズの交換が容易で、ロック機能付きの空気圧昇降モジュール（オプション）
顕微鏡の種類
単眼顕微鏡
体式顕微鏡
金属顕微鏡
倍率の拡大
0.75倍～5倍ズーム
光源
同軸光源
外部設置型LEDリング光源
200万画素（2000万画素へアップグレード可能）
16X-100X
20X-4000X
X-Y-Zの移動経路
移動精度
吸着方式
磁力吸着／真空吸着
プローブ治具
同軸ケーブル／三軸ケーブル／RFケーブル
漏電精度
固定プローブ
スプリング固定／チューブ固定／ツメ式固定
10um/2um/0.7um/0.5um
BNC/3軸/バナナ端子/クロコダイルクリップ/配線端子/RFインターフェース
DCニードル先の直径
RFプローブ周波数
素材
タングステン鋼／ベリリウム銅／ニッケルめっき
外形寸法
10pA/100fA/10fA
重量
約80キログラム
オプションの付属品
加熱台
金メッキカセット
高圧テスト用アクセサリー
1um/2um/5um/10um/20um/50um/100um
耐震テーブル
40GHz/50GHz/67GHz/110GHz/1100GHz
お客様のご要望に応じたカスタマイズ
タングステン鋼／ベリリウム銅／ニッケルメッキ
外形寸法
750W × 815D × 650H
重量
約80キログラム
オプションの付属品
加熱台
金メッキカセット
高圧テスト用アクセサリー
耐震テーブル
シールドボックス
レーザーシステム
お客様のご要望に応じたカスタマイズ