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カスタム高温低温チャック

プローブステーションの高低温加熱チャックは、半導体テストにおいて試料の温度を高精度で制御するための重要な部品であり、さまざまな温度環境下でウェハやチップの電気的特性テストを行うことができます。

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三軸治具

漏電精度は100fA未満です。

最大許容電流10A

高圧1000V

1.8mの3軸ダブルシールドケーブル、3軸オスコネクター付き(お客様のテスト機器に応じてアダプターオプション可能)

CB-40-Tクラス以上の精度を持つプローブホルダーの使用をおすすめします。

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同軸治具

漏電精度は10pAまで可能です(シールドボックスと併用)。

最大許容電流1A

高電圧700V

1.5M 同軸ケーブル、同軸オスコネクタ

精度がCB-40-T以上であるプローブホルダーをおすすめします。

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CB-200 プローブソケット

0.5 / 0.7 / 2 / 10μmの移動精度から選択可能

DCテストプローブソケット

高周波テストプローブソケット

直線運動

四次元調整

X-Y-Zの移動ストロークは最大20mmまで可能です。

磁気吸着と真空吸着から選択可能

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CB-100 プローブソケット

0.5 / 0.7 / 2 / 10μmの移動精度から選択可能

DCテストプローブソケット

高周波テストプローブソケット

直線運動

四次元調整

X-Y-Zの移動ストロークは最大20mmまで可能です。

磁気吸着と真空吸着から選択可能

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CB-40-T プローブソケット

0.5 / 0.7 / 2 / 10μmの移動精度から選択可能

DCテストプローブソケット

高周波テストプローブソケット

直線運動

四次元調整

X-Y-Zの移動ストロークは最大20mmまで可能です。

磁気吸着と真空吸着から選択可能

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CB-40 プローブソケット

0.5 / 0.7 / 2 / 10μmの移動精度から選択可能

DCテストプローブソケット

高周波テストプローブソケット

直線運動

四次元調整

X-Y-Zの移動ストロークは最大20mmまで可能です。

磁気吸着と真空吸着から選択可能

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