CS小型プローブステーション
CSシリーズのプローブステーションは、小型に設計され、測定精度が高く、操作が簡単なうえ、人間工学にも適しています。
主に半導体産業および光電子産業のテストに応用されています。
複雑で高速なデバイスの精密な電気測定に関する研究開発に広く応用されています。
CSシリーズ小型プローブステーション
- 製品の説明
- 仕様パラメーター
- 資料のダウンロード
- 動画
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用途
- 光電分野のテストアプリケーションが可能で、LED/LD/PDの光強度／波長テストを実施できます。
- RFテストを実施可能で、東・西方向用の針座を追加装着可能です。大学の研究室に広く適しています。
人間工学とオプション装備
- 調整可能な針座プラットフォームは、素早く昇降可能で、サンプルとプローブの迅速な分離を容易にします。
- チャックを回転させてロックする
- 針座プラットフォームは、直流/RF定位器（磁気または真空設置型）に対応しています。
- さまざまなチャックオプション、マイクロポジショナー、顕微鏡、カメラ、PCB ホルダーなど、多彩な仕様をご用意しています。
- オプションの機器ラック、防振台、暗箱など
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技術仕様
台座 CS-4
CS-6
サンプル台が回転する
360度回転可能で、15度まで微調整可能、精度は0.1度、角度ロック機能付き
サンプルの固定方法
真空吸着、中央吸引孔、多層吸着リング
サンプル台のZ軸昇降
昇降可能8mm
X-Y移動ストローク
X-Yの移動精度
針座プラットフォーム
U字型プローブ台プラットフォーム、最大6個のプローブ台を設置可能
バック電極テスト
サンプル台は電気的に独立して浮いており、4mmジャックにバック電極を接続可能（オプション）。
顕微鏡
10um
顕微鏡の固定方法
支柱回転式
顕微鏡の種類
単眼顕微鏡
体視顕微鏡
倍率を拡大する
0.75倍～5倍ズーム
光源
同軸光源
外部設置型LEDリング光源
200万画素（2000万画素へアップグレード可能）
X-Y-Zの移動ストローク
16X-100X
移動精度
吸着方式
磁力吸着／真空吸着
プローブ治具
同軸ケーブル／三軸ケーブル／RFケーブル
漏電精度
固定プローブ
スプリング固定／チューブ固定／ツメ式固定
BNC/3軸/バナナ端子/クロコダイルクリップ/配線端子/RFインターフェース
10um/2um/0.7um/0.5um
DCニードル先の直径
RFプローブ周波数
素材
タングステン鋼／ベリリウム銅／ニッケルメッキ
外形寸法
重量
10pA/100fA/10fA
約26キログラム
オプションの付属品
加熱台
金メッキカセット
耐震テーブル
お客様のご要望に応じたカスタマイズ
lum/2um/5um/10um/20um/50um/100um
RFプローブ周波数
40GHz/50GHz/67GHz/110GHz
素材
タングステン鋼／ベリリウム銅／ニッケルメッキ
外形寸法
400W × 400D × 500H
重量
約26キログラム
オプションの付属品
加熱台
金メッキカセット 耐震テーブル
シールドボックス お客様のご要望に応じたカスタマイズ
CS-4
CS-4