CH 高級プローブステーション
CINDBEST CH型プローブステーションは、機能が充実しており、高い互換性を備えたプローブステーションです。
さまざまなサンプルの試験に対応可能で、特に8インチウェハーや12インチウェハーなど、大型サイズのサンプルにも適しています。
直流試験や高周波試験など、さまざまな用途のテストにも対応可能です。
CHシリーズハイエンドプローブステーション
- 製品の説明
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- 動画
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用途
- 適用範囲は、さまざまなウェーハ測定アプリケーション、ウェーハレベル信頼性（WLR）、故障解析（FA）、集積回路設計、マイクロ電気機械システム（MEMS）、および高出力（HP）に広く対応可能です。
- IVカーブ、CVカーブ、LIVカーブのテスト、RFテスト、高電圧大電流テスト
人間工学とオプション装備
- 調整可能な針座プラットフォームにより、サンプルとプローブを迅速に分離できます。
- チャックが回転してロックする
- 針座プラットフォームは、直流／RF定位器（磁気または真空設置型）に対応しています。
- さまざまなチャックオプション、DC/RF/高電圧1～10kV、マイクロポジショナー、顕微鏡、カメラ、PCBホルダーなど、多様な構成をご用意しています。
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技術仕様
台座 CH-8
CH-12
サンプル台の引き出し
行程：110mm
行程：150mm
サンプル台が回転する
360度回転可能、15度の微調整可能、精度0.1度、角度ロック機能付き
サンプルの固定方法
真空吸着、中央吸引孔、多層吸着リング
サンプル台のZ軸昇降
昇降可能8mm
X-Y移動ストローク
X-Yガス浮上移動
360°で気浮き移動可能であり、迅速な試料の位置決めが容易です。
X-Yの移動精度
針座プラットフォーム
5mmの迅速な昇降と、25mmの微細な調整が可能
バック電極テスト
サンプル台は電気的に独立して浮かせており、4mmジャックにバック電極を接続可能（オプション）。
顕微鏡
1um
顕微鏡の固定方法
X-Y微調整付きのガントリークレーン、移動範囲2インチ×2インチ
顕微鏡の使いやすさ
高速チルト装置を搭載し、対物レンズの交換が容易で、ロック機能付きの空気圧昇降モジュール（オプション）
顕微鏡の種類
単眼顕微鏡
体式顕微鏡
金属顕微鏡
倍率を拡大する
0.75倍～5倍ズーム
光源
同軸光源
外部設置型LEDリング光源
200万画素（2000万画素へアップグレード可能）
その他の機能
16X-100X
20X-4000X
ロード可能なレーザー
X-Y-Zの移動経路
移動精度
吸着方式
磁力吸着／真空吸着
DC変調ポイント測定角度
RFの調整角度
複数ポイントプローブの水平調整ノブは、最大±10°まで調整可能で、精度は0.1度です。
プローブ治具
同軸ケーブル／三軸ケーブル／RFケーブル
漏電精度
10um/2um/0.7um/0.5um
固定プローブ
スプリング固定／チューブ固定／ツメ式固定
BNC/3軸/バナナ端子/クロコダイルクリップ/配線端子/RFインターフェース
DCニードル先の直径
RFプローブ周波数
素材
タングステン鋼／ベリリウム銅／ニッケルめっき
外形寸法
重量
約103キログラム
10pA/100fA/10fA
約170キログラム
オプションの付属品
加熱台
金メッキカセット
耐震テーブル
お客様のご要望に応じたカスタマイズ
1um/2um/5um/10um/20um/50um/100um
RFプローブ周波数
40GHz/50GHz/67GHz/110GHz/1100GHz
素材
タングステン鋼／ベリリウム銅／ニッケルメッキ
外形寸法
750W × 820D × 650H
925W × 947D × 815H
重量
約103キログラム
約170キログラム
オプションの付属品
加熱台
金メッキカセット
耐震テーブル
シールドボックス
お客様のご要望に応じたカスタマイズ
CH-8
CH-8