カスタム高温低温チャック
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プローブステーションの高低温加熱チャックは、半導体テストにおいて試料の温度を高精度で制御するための重要な部品であり、さまざまな温度環境下でウェハやチップの電気的特性テストを行うことができます。
機能の特長：
- 広い温度範囲：Cindbest の通常の金メッキ/ニッケルメッキ熱カートリッジの温度範囲は、-10°C から 600°C までで、カスタムオーダーの半自動カートリッジの温度範囲は、-60°C から 300°C です。
- 高精度温度制御：温度分解能は0.1°C、0.01°C、さらには0.001°Cなど、さまざまなオプションが用意されており、温度安定性は±1°Cまたは±0.1°Cまで達成可能です。
- 急速な温度上昇・下降：チャックは効率的な冷却および加熱技術を採用しており、温度変換速度が従来のシステムに比べて格段に速いです。
- 真空吸着：真空チャンネルを通じてウェーハを吸着し、試験中のサンプル位置の固定を確実に行います。また、一部のカセットには独立した真空チャンネルが備わっており、さまざまなサイズのウェーハに対応可能です。
- 構造設計：
- 表面平坦：チャックの表面精度が高く、常温下で最大10µmに達することもあり、ウェーハとチャックとの良好な接触を確保し、温度均一性と測定精度を保証します。
- カートリッジは通常、薄く設計されており、プローブとの統合が容易であるとともに、熱伝導にも有利です。
- インターフェースが多様：チャック表面は通常、接触抵抗を低減するために金メッキまたはニッケルメッキが施されており、電気的にフロート機能を備え、接地端子も設けられています。また、一部のモデルには、低漏れ／低ノイズ測定用に3軸オプションも用意されています。
- 冷却と加熱方式：
- 空冷式：空気で冷却するため、液体やペルチェ素子を使用しないため、安全性が高く、冷却剤の設置面積が小さく、省スペース化できるという利点もあります。
- 液窒冷凍：液窒を用いた冷凍方式により、-196°C などの低温を自動的に制御可能。
- 応用分野：主に半導体デバイスおよびウェーハの温度変化による電気特性分析に使用され、例えばパワーデバイスのモデル試験、ウェーハの信頼性評価、量産向けの温度変化検査、温度変化による光電特性試験、RFの温度変化試験などが挙げられます。 -
常温同軸チャック
常温三軸チャック
常温高温同軸チャック
常温三軸チャック
直径
材料
アルミニウム合金のニッケルめっきまたは金めっき、ステンレス鋼
8 吸着方式 環状 多孔質の
8 吸着方式 環状 多孔質の
8 吸着方式 環状 多孔質の
8 吸着方式 環状 多孔質の
吸着リング
吸着孔のサイズ *
吸着孔のサイズ
吸着孔のサイズ
吸着孔のサイズ
温度範囲
（アップグレード可能 / 温度分解能 *
（アップグレード可能 / 温度分解能 *
（アップグレード可能 / 温度分解能 *
（アップグレード可能 / 温度分解能 *
温度制御精度
8 温度安定性 漏電精度
12 温度安定性 温度の上昇・下降速度
適用性
常温環境下でのテスト
常温環境下でのテスト
常温環境下でのテスト
常温環境下でのテスト
高温および高温バック電極テスト
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RT-200 これは多孔吸着チャックの標準穴径であり、ご希望に応じてカスタマイズ可能です。
多孔吸着は≤に適しています 300 薄いシート
RT-200 これは多孔吸着チャックの標準穴径であり、ご希望に応じてカスタマイズ可能です。
多孔吸着は≤に適しています 300 薄いシート
チャックの材質について：高出力デバイスのテストには金メッキを、バック電極のテストには金メッキまたはニッケルメッキを推奨します。通常はステンレス鋼を選択します。
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0.1℃
0.1℃
温度制御精度
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0.1℃
0.1℃
温度安定性
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±1℃
±1℃
漏電精度
≤ 50 PA @ ± 5V/25 これは多孔吸着チャックの標準穴径であり、ご希望に応じてカスタマイズ可能です。
≤100fA @ ± 5V /25℃
≤ 50 PA @ ± 5V/25 ℃
≤100fA @ ± 5V /25℃
温度上昇・下降速度
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25 これは多孔吸着チャックの標準穴径であり、ご希望に応じてカスタマイズ可能です。 -200 ℃ ≤ 20 ミニ @8 多孔質の
200 これは多孔吸着チャックの標準穴径であり、ご希望に応じてカスタマイズ可能です。 -300 ℃ ≤ 25 ミニ @8 多孔質の
25 これは多孔吸着チャックの標準穴径であり、ご希望に応じてカスタマイズ可能です。 -200 ℃ ≤ 30 ミニ @8 多孔質の
200 これは多孔吸着チャックの標準穴径であり、ご希望に応じてカスタマイズ可能です。 -300 ℃ ≤ 35 ミニ @8 多孔質の
適用性
常温環境下でのテスト
常温環境下でのテスト
高温および高温バック電極テスト
高温および高温バック電極テスト
*0.5mm これは多孔吸着チャックの標準穴径であり、ご希望に応じてカスタマイズ可能です。
* 多孔吸着は≤に適しています 200um 薄いシート
* チャックの材質について：高出力デバイスのテストには金メッキを、バック電極のテストには金メッキまたはニッケルメッキを推奨します。通常はステンレス鋼を選択します。
Cindbest Heating Chuck